Aachen: Ein halbes Jahrhundert Halbleiterforschung in Aachen

Aachen: Ein halbes Jahrhundert Halbleiterforschung in Aachen

50 Jahre. Ein stolzes Jubiläum für ein Institut, das sich mit einer Technologie beschäftigt, die erst in der zweiten Hälfte des vergangenen Jahrhundert Bedeutung erlangte. Einerseits. Andererseits wurde es damals in Deutschland Zeit für die Forschung mit Halbleitern.

Die Aachener Physiker machten immerhin die Vorreiter und gründeten am 27. Juli 1961 das Institut für Transistortechnik. Jetzt wurde das Ereignis mit einem Rückblick auf die wissenschaftlichen Arbeit sowie einer Würdigung seines langjährigen, gerade in den Ruhestand verabschiedeten Leiters, Heinrich Kurz, gefeiert.

Heinz Beneking war der erste Direktor des Instituts, das dann 1964 in seinen heutigen Namen, Institut für Halbleitertechnik (IHT) umbenannt wurde.

Entdeckt worden war der Transistoreffekt 1948 durch John Bardeen, Walter Brattain und William Shockley, die dafür 1956 mit dem Nobelpreis für Physik ausgezeichnet wurden. Das erste Patent zum Prinzip des Transistors war allerdings schon 1925 angemeldet worden. Doch die Physik in der ersten Hälfte des 20. Jahrhunderts interessierte sich nicht besonders für die praktischen Seiten dieser Naturwissenschaft. Es war die große Zeit der genialen Theoretiker, wie Hans-Joachim Queisser in in beredter historischer Geste in seinem Festvortrag schilderte. Der 80-Jährige gehört selbst zu den großen Namen seines Fachs, kannte dessen Pioniere Shockley und Walter Schottky noch persönlich und hat mit Shockley zusammen das nach beiden benannte Limit für die maximale Effizienz einer Solazelle entdeckt.

Silizium, Silizium

Nach Schottky wiederum ist das Haus benannt, in dem das IHT seit 1976 ansässig ist. Wesentliche Beiträge lieferte es zum Metall-Oxid-Feldeffekttransistor (Mosfet) für die Höchstintegration oder für Höchstgeschwindigkeitsanwendungen. Daneben waren und sind neuartige Bauelemente immer wieder Forschungsgegenstand. Die Technologie der III-V-Halbleiter wurde damit auch zu einem Schwerpunkt des Institutes.

Die Integration von immer mehr Bauelementen in elektronischen Schaltungen führte zwangsläufig dazu, heißt es weiter in einem Abriss der Institutsgeschichte, dass das Institut sich auch Fragestellungen der Mikro- und schließlich der Nanostrukturierung widmete „und bis heute widmet”. Vielfältige Messtechniken und Charakterisierungsverfahren wurden wesentliche Bestandteile des Institutes. „Ultrakurz und ultraklein” wurde zum Motto des IHT, ultraschnelle Optoelektronik und Nanotechnologie somit prägende Kennzeichen des IHT.

Schon 1983 war die praktische Relevanz der Forschung im IHT mit der Gründung der Firma Aixtron durch zwei Promovenden des Instituts dokumentiert worden. 1997 wurde die Amo GmbH etabliert, die mit dem Forschungsinstitut Amica das - damals erste - Zentrum für Nanotechnologie in Deutschland betreibt.

Die heutigen Forschungsthemen des IHT sind den verschiedenen Wegen der Silizium-Technologie gewidmet: Si-Photovoltaik, Si-Photonik und Si-Nanoelektronik. Als völlig neues Thema ist Graphen hinzugekommen, der modifizierte Kohlenstoff, der in der Herstellung künftiger Computer-Chips bedeutend werden könnte.

Während Gründungsdirektor Beneking bis zur seiner Emeritierung 1989 blieb, wurden fast alle Nachfolger binnen weniger Jahre auf Lehrstühle an anderen Universitäten berufen. Heinrich Kurz, der 1990 am IHT antrat, konnte gegen zahlreiche Abwerbeversuche hier gehalten werden, auch gegen einen besonders verlockenden Ruf nach Berlin. Das verriet jedenfalls sein Kollege und langjähriger Weggefährte Klaus Ploog.

„Genießer und Weltbürger”

Ploog, ein Pionier der Nanoforschung, würdigte den 67-Jährigen, aus Pennewang (nicht weit von Wien) stammenden Österreicher als Wissenschaftler, natürlich, doch nicht zuletzt als „Weltbürger und Genießer”.

Wenigstens als solchen wird man Heinrich Kurz - sein Nachfolger ist Joachim Knoch - auch recht vermissen, wenn er denn einmal Aachen doch verlassen sollte. So ein bisschen Schmäh tat der RWTH ab und zu ganz gut.

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